英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。
 
憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進氣口壓強的真空結(jié)構(gòu)，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供的漏率低達< 5×10-12毫巴·升/秒。軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為UL1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
 
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業(yè)。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
 
使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡單、快速、精確的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883，方法1014）。
 特征
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時間
移動式全金屬外殼為可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的響應(yīng)時間
抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
自保護功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環(huán)可確保隨時可用性
通過電子郵件進行軟件升級
含兩個燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
內(nèi)部校準用的內(nèi)置校準漏孔確保了精確的測試結(jié)果
內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執(zhí)行密封部件的自動測試
可選RC1000遙控器

 應(yīng)用

半導(dǎo)體加工工具上的維護工作
工藝氣體系統(tǒng)的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用